Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРИМЕСИ РЕНИЯ НА МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ВОЛЬФРАМА МЕТАЛЛИЗАЦИИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ КРЕМНЕВЫХ ИС»

Авторы:
  • Шевяков В.И.1
  • Тимаков А.В.2
стр. 51-54
Платно
1 Научный исследовательский институт Московский институт электронной техники, 2 Научный исследовательский институт Московский институт электронной техники
Ключевые слова:
  • ТОНКАЯ ПЛЕНКА
  • ВОЛЬФРАМ
  • РЕНИЙ
  • МЕХАНИЧЕСКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ
  • РЕНИЕВЫЙ ЭФФЕКТ
  • THIN FILM
  • TUNGSTEN
  • RHENIUM
  • MECHANICAL STRESS
  • RHENIUM EFFECT
Аннотация:
Данная работа посвящена исследованию влияния примеси рения на механические и проводящие свойства тонких пленок вольфрама. Получены результаты исследования адгезивных свойств пленок. Проведено исследование уровня механических напряжений, которое соответствует полученным теоретически данным. Измерено удельное сопротивление для пленок чистого вольфрама и пленок с легирующим рением 5, 10, 15 и 20%. Получены пленки, соответствующие требованиям отраслевых стандартов.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.