LOW-TEMPERATURE RADICAL ISSG OXIDATION OF SILICON, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"

Chernyaev M.V.; Gorokhov S.A.; Patyukov S.I.; Rezvanov A.A.

Главная
Журналы
Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника
Выпуск №2, 2023
LOW-TEMPERATURE RADICAL ISSG OXIDATION OF SILICON, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"

Статья «LOW-TEMPERATURE RADICAL ISSG OXIDATION OF SILICON, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ РАДИКАЛЬНОЕ ISSG ОКИСЛЕНИЕ ЭНЕРГЕТИКА НАНОКРИСТАЛЛИТОВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ

Все статьи выпуска

Авторы:

Chernyaev M.V.¹
Gorokhov S.A.²
Patyukov S.I.³
Rezvanov A.A.⁴

стр. 69-75

Платно

¹ “MERI”, SC, ² “MERI”, SC; MIPT, ³ “MERI”, SC, ⁴ “MERI”, SC; MIPT

Читать анонс статьи

В выпуске: №2, 2023
В журнале: Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника
Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
Год выхода: 2023

SDI: 007.001.2410-9932.2023.000.002.9
DOI: https://doi.org/10.7868/S2410993223010086
URL: https://www.libnauka.ru/item.php?doi=10.7868/S2410993223010086
УДК: 621.315.592.4

Ключевые слова:

radical oxidation
kinetics of silicon oxide growth
exponential growth law
self-limiting oxide thickness

Аннотация:

The kinetics of single wafer radical oxidation of a silicon during a low-temperature (500…800 °C) in situ steam-generation (ISSG) oxidation process based on hydrogen combustion is investigated. To determine the constants of radical oxidation, the obtained dependences of the oxide thickness on time at different temperatures and fixed other parameters of the technological process were used. It is shown that the rate of low-temperature radical ISSG oxidation corresponds to the exponential growth law. The self-limitation of the oxide thickness observed at temperatures below 700 °C is of great practical importance for the formation of a thin dielectric with a thickness of less than 1 nm, since it allows to control the process of oxidation by temperature, and not by processing time as with standard thermal oxidation.

Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.

Читать статью Перейти на выпуск

Выбор типа подписчика

Юридическое лицо

Выберите этот пункт, если Вы являетесь организацией и хотите получить доступ сразу для нескольких пользователей.

После выбора Вы перейдете на страницу регистрации "Организация", зарегистрируетесь и наш менеджер вскоре свяжется с Вами по вопросам подписки и заключения договора. После всех формальностей, мы предоставим доступ к выбранным изданиям всем Вашим пользователям.
Физическое лицо

Выберите этот пункт, если Вы являетесь индивидуальным читателем и хотели бы получить личный доступ к изданиям библиотеки. После выбора Вы сможете продолжить и зарегистрируетесь непосредственно перед оформлением заказа.

Если Вы являетесь читателем организации и хотели бы получить коллективный доступ - закройте это меню и сообщите администрации Вашего учреждения о необходимости получения доступа.

ВЫБРАТЬ

ДОГОВОР - ПУБЛИЧНАЯ ОФЕРТА

ФГУП "Издательство "Наука" в лице Врио директора Коротков Дмитрий Павлович, действующего на основании Устава, именуемое в дальнейшем «Издательство», с одной стороны, и пользователь сети Интернет, именуемый в дальнейшем «Пользователь», с другой стороны, совместно именуемые «Стороны», заключили настоящий договор (далее – «Договор»)

Договор, в соответствии со статьей 435 и частью 2 статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации, является публичной офертой (предложением) в адрес неограниченного числа лиц, пользователей сети Интернет.

В соответствии со статьей 438 Гражданского Кодекса Российской Федерации, полным и безоговорочным акцептом (принятием) Договора является подтверждение Пользователем своего согласия с условиями Договора или осуществление им добровольного платежа.

1. Термины, используемые в Договоре

1.1.Пользователь– пользователь сети Интернет, принявший условия Договора и зарегистрированный на Сайте «Издательства».

1.2.Произведения (Контент)– электронные версии научных изданий, включая периодические издания а также непериодические издания, представленные в электронном виде в сети Интернет в различных форматах, размещенные на Сайте «Издательства», доступные Пользователям посредством Сайта «Издательства».

1.3.Каталог– совокупность Произведений.

1.4.Логин и Пароль– два уникальных набора символов, идентифицирующих Пользователя.

1.5.Сайт «Издательства»– информационный ресурс в сети Интернет, принадлежащий «Издательству», расположенный на домене libnauka.ru

1.6.Скачивание– запись Пользователем Произведений в память ЭВМ.

1.7.Биллинг– система учета платежей.

1.8.Учетная запись Пользователя – Аутентификационные и личные данные Пользователя, хранящиеся на серверах Сайта «Издательства». Учетная запись создается в результате прохождения Пользователем процедуры регистрации и может потребоваться для того, чтобы воспользоваться некоторыми возможностями или отдельными функциями Сайта.

2. Предмет Договора

2.1. «Издательство» предоставляет возможность Пользователю на платной основе осуществлять просмотр, чтение и скачивание Произведений, представленных в Каталоге. «Издательство» может предоставлять Пользователю иные услуги на условиях Приложений к Договору.

2.2. Пользователем может быть оформлена и оплачена предварительная годовая (неполная годовая) подписка на возможность просмотра, чтения и скачивания электронных версий Произведений, а также предварительная подписка на возможность получения коллекции Произведений, не размещенных в Каталоге в момент оформления и оплаты.

3. Обязанности сторон

3.1.Обязанности «Издательства»:

3.1.1. Предоставлять Пользователю возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения не позднее 24 часов с момента подтверждения Биллингом произведенной оплаты и идентификации Пользователя как плательщика произведенного платежа. В случае оформления и оплаты Пользователем предварительной подписки в соответствии с п.2.2. Договора, предоставлять Пользователю возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения не позднее 24 часов с момента их размещения в Каталоге при условии подтверждения Биллингом произведенной ранее оплаты и идентификации Пользователя как плательщика произведенного платежа.

3.1.2. Не разглашать третьим лицам Логин и Пароль, адрес электронной почты Пользователя, а также прочие сведения, полученные от Пользователя при регистрации.

3.1.3. Уведомлять Пользователя об изменениях условий Договора и его Приложений путем размещения соответствующей информации на Сайте «Издательства» не менее чем за 30 (тридцать) календарных дней до вступления изменений в силу.

3.2.Обязанности Пользователя:

3.2.1. Зарегистрироваться на Сайте «Издательства». Установить Логин и Пароль, уникальность которых подтвeрждаeтся «Издательством». При этом строго и неукоснительно следовать указаниям «Издательства» о порядке регистрации, размещенном на Сайте «Издательства».

3.2.2. Производить оплату получения возможности просмотра, чтения и скачивания Произведений согласно п.4 Договора.

3.2.3. Обеспечивать конфиденциальность Логина и Пароля, сообщенного при регистрации.

3.2.4. Использовать скачанные Произведения исключительно в личных целях.

При этом Пользователю предоставляются следующие права на использование Произведений:

осуществлять дистанционный доступ в сети Интернет посредством Сайта «Издательства» к Произведениям, под которым понимается возможность поиска, просмотра, скачивания и чтения Произведений.
распечатывать отдельные части Произведений только в архивных целях.
осуществлять запись и хранение отдельных частей Произведений в память ЭВМ, принадлежащего Пользователю в архивных, учебных и исследовательских целях;
цитировать в оригинале и в переводе в научных, исследовательских, полемических, критических и информационных целях отрывки Произведений в объеме, оправданном целью цитирования,
использовать отдельные части Произведений из них в качестве иллюстраций в изданиях, в радио- и телепередачах, звуко- и видеозаписях учебного характера в объеме, оправданном поставленной целью;
воспроизводить в газетах, передавать в эфир или сообщать по кабелю для всеобщего сведения отдельные части Произведений в объеме, оправданном информационной целью.
использование Произведений (их составных частей) по настоящему Договору осуществляется с обязательным указанием имени авторов (соавторов) Произведений (их составных частей), наименования правообладателя Произведений, указанных в Произведении.

3.2.5.Пользователь не имеет право:

передавать либо рассылать скачанные Произведения третьим лицам как полностью, так и частично, за исключением случаев, предусмотренных п.3.2.4. Договора;
сообщать публично Произведения как полностью, так и частично по известным каналам вещания, таким как радио, телевидение и проч., за исключением случаев, предусмотренных п.3.2.4. Договора;
воспроизводить Произведения, то есть изготавливать экземпляры Произведений или их частей в любой материальной форме если это воспроизведение имеет цель дальнейшего распространения;
доводить Произведения до всеобщего сведения с использованием сети Интернет и прочих цифровых сетей как полностью, так и частично;
переделывать, изменять или прочим образом перерабатывать тексты Произведений.
распечатывать целиком Произведение, представляющее собой выпуск журнала, журнал или книгу;
размещать ссылки на Произведения, доступные для использования Пользователем, на каких-либо ресурсах таким образом, чтобы третье лицо имело доступ к данным Произведениям. В том числе Пользователю запрещается сообщать третьим лицам сведения, необходимые для получения доступа на персональные страницы Сайта, требующие авторизации Пользователя.
использовать иные программные средства для автоматического поиска и загрузки, кроме тех, которые реализованы на Сайте «Издательства»

Несоблюдение требований п.3.2.5. Договора является нарушением законодательства об авторском праве и карается по закону!

3.2.6. Вся информация, размещенная на Сайте «Издательства» о порядке пользования Каталогом, порядке оплаты и прочих особенностях исполнения Договора является неотъемлемой частью Договора и обязательна к исполнению Пользователем.

4. Условия оплаты

4.1. Пользователь производит авансовый платеж в рублях РФ на условиях, указанных на Сайте «Издательства».

4.2. Способы оплаты указаны на Сайте в разделе Способы оплаты. Согласованным способом оплаты считается способ, выбранный Пользователем из доступных способов оплаты на Сайте «Издательства».

4.3. Порядок оплаты с помощью банковских карт указан на Сайте в разделе Способы оплаты. Операции с использованием банковских карт могут совершаются исключительно держателем карты. Авторизация операций по банковским картам осуществляется банком. Прием и обработка платежей с использованием банковских карт проводится провайдером электронных платежей Яндекс.Касса, либо иным провайдером электронных платежей. «Издательство» не осуществляет обработку, в том числе сбор и хранение данных банковских карт Пользователей.

4.4. Для Пользователей, являющихся юридическими лицами доступна оплата только путем безналичного банковского перевода с расчетного счета Пользователя на расчетный счет «Издательства».

4.5. Цена предоставления возможности Пользователю – физическому лицу осуществлять просмотр, чтение и скачивание Произведений указана на Сайте «Издательства» в соответствующих разделах. Пользователям, являющимся юридическими лицами, цены направляются «Издательством» по запросу по согласованным каналам связи. «Издательство» вправе в одностороннем порядке изменять действующие цены путем размещения соответствующей информации на Сайте «Издательства» либо информирования Пользователей иным доступным способом. Любое изменение цен не касается уже оплаченного доступа.

5. Ответственность сторон. Ограничение ответственности «Издательства».

5.1. Пользователь принимает на себя полную ответственность и риски, связанные с использованием Каталога.

5.2. Пользователь полностью несет ответственность за использование третьими лицами Логина и Пароля.

5.3. Пользователь полностью несет ответственность за использование третьими лицами информации, передаваемой «Издательству» на адрес электронной почты, указанный Пользователем при регистрации.

5.4. «Издательство» не несет ответственности за любые расходы Пользователя или прямой либо косвенный ущерб, который может быть нанесен Пользователю вследствие использования Каталога.

5.5. «Издательство» нe нeсeт отвeтствeнности за качество доступа к Каталогу через сеть Интернет.

5.6. Ни при каких обстоятельствах «Издательство» не несет ответственности за использование третьими лицами Логина и Пароля.

5.7. «Издательство» не несет ответственности за прямой или косвенный ущерб, понесенный Пользователем в результате ошибок передачи данных, сбоев/дефектов в работе программного обеспечения и/или оборудования, потерь и повреждений данных, ошибок обработки или отображения данных, задержек в передаче данных и других сбоев, случившихся не по вине «Издательства».

5.8. Сайт «Издательства» и все сопутствующие сервисы предоставляются на условиях «как есть», без каких-либо прямых или косвенных гарантий того, что указанные Сайт и (или) сервисы могут подходить или не подходить для конкретных целей использования.

5.9. «Издательство» не несет ответственности за невозможность пользования Сайтом, и (или) сопутствующими сервисами Пользователем по каким-либо причинам, включая, но не ограничиваясь: ошибки, упущения, прерывания, удаление, дефекты, задержку в обработке или передаче данных, нарушение работы линий связи, неисправность оборудования, любые технические сбои или иные проблемы любых телефонных сетей или служб, компьютерных систем, серверов или провайдеров, компьютерного или телефонного оборудования, программного обеспечения, невыполнение обязательств поставщиков тех или иных услуг, кражу, уничтожение или неправомерный доступ к материалам Пользователей, размещенным на Cайте или в любом другом месте и т.п.

5.10. Ни при каких обстоятельствах «Издательство» не несет ответственности за любые расходы Пользователя или прямой либо косвенный ущерб, включая упущенную выгоду или потерянные данные, вред чести, достоинству или деловой репутации, который может быть нанесен Пользователю вследствие использования Сайта и (или) сопутствующих сервисов.

5.11. В случае невозможности для «Издательство» предоставить Пользователю возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения по независящим от «Издательства» причинам, «Издательства» по требованию Пользователя осуществляет возврат полученного авансового платежа. При этом размер ответственности «Издательство» ограничивается размером полученного от Пользователя авансового платежа за возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения, которая не была предоставлена.

6. Срок действия Договора

6.1. Договор вступает в силу с момента принятия Пользователем условий Договора (каждое Приложение к Договору вступает в силу с момента принятия Пользователем условий этого Приложения) и действует до полного исполнения Сторонами своих обязательств.

7. Обстоятельства непреодолимой силы

7.1. Стороны освобождаются от ответственности за частичное или полное неисполнение обязательств по настоящему Договору в случае, если такое неисполнение явилось прямым следствием обстоятельств непреодолимой силы (форс-мажорных обстоятельств), возникших после заключения Договора, в результате событий чрезвычайного характера, а именно: пожара, наводнения, урагана и землетрясения или наложения органами государственной власти ограничений на деятельность любой из Сторон, и если эти обстоятельства Стороны не могли ни предвидеть, ни предотвратить разумными мерами.

8. Прочие условия

8.1. В случае, если какое-либо положение или какая-либо часть положения Договора признаны недействительными или не имеющими юридической силы, остальные положения и части положений Договора остаются в полной силе и действии.

8.2. Все Приложения к настоящему Договору являются его неотъемлемой частью.

8.3. Во всем остальном Стороны договорились руководствоваться действующим законодательством Российской Федерации.

8.4. «Издательство» вправе вносить изменения в Договор с обязательным размещением соответствующей информации на Сайте «Издательства» не позднее, чем за 30 (тридцать) календарных дней до вступления соответствующих изменений в силу.

8.5. По всем возникающим вопросам Пользователь вправе обращаться в Службу поддержки «Издательства» по адресу электронной почты:info@libnauka.ru

9. Разрешение споров

9.1. Споры и разногласия, которые могут возникнуть по данному Договору, решаются путем соблюдения досудебного (претензионного) порядка. Срок рассмотрения «Издательством» претензии – 10 (Десять) календарных дней с момента ее получения от Пользователя.

9.2. Если Стороны не придут к соглашению, эти споры и разногласия разрешаются в судебном порядке согласно действующему законодательству Российской Федерации в суде по месту нахождения «Издательства» в соответствии с правилами подведомственности и подсудности.

10. Уведомление о конфиденциальности

10.1 Согласие Пользователя на предоставление персональной информации, определяется согласием с настоящей публичной офертой, происходящей автоматически при прохождении Пользователем процедуры регистрации на Сайте «Издательства».

10.2 «Издательство» собирает и хранит только необходимые персональные данные Пользователя. «Издательство» может использовать персональные данные Пользователя для его идентификации, уточнения данных платежа, предоставлению персонализированных сервисов, обратной связи с Пользователем, обработки заявок и запросов, выполнения обезличенных статистических вычислений и улучшения качества услуг, оказываемых Пользователю.

10.3. «Издательство» вправе передать персональную информацию Пользователя третьим лицам только в случаях, если Пользователь выразил свое согласие на такие действия, передача необходима для оказания услуги Пользователю, передача предусмотрена законодательством РФ.

«Издательство»: ФГУП "Издательство "Наука"

ПОЛЬЗОВАТЕЛЬСКОЕ СОГЛАШЕНИЕ

1. Общие положения

1.1. Настоящее Пользовательское соглашение (далее – Соглашение) относится к сайту Электронной библиотечной системы - www.libnauka.ru (далее «Электронная библиотечная система»).

1.2. Сайт «Электронной библиотечной системы» www.libnauka.ru (далее – Сайт) является собственностью Федерального государственного унитарного предприятия «Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр «Наука» (ФГУП «Издательство «Наука»).

1.3. Настоящее Соглашение регулирует отношения между Администрацией сайта «Электронной библиотечной системы» www.libnauka.ru (далее – Администрация сайта) и Пользователем (Пользователями) данного Сайта.

1.4. Настоящее соглашение в соответствии со статьей 435 и пунктом 2 статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации, является публичной офертой в адрес неограниченного числа лиц, пользователей сети Интернет.

1.5. В соответствии со статьей 438 Гражданского Кодекса Российской Федерации, полным и безоговорочным акцептом (принятием) Соглашения является:

подтверждение Пользователем своего согласия с условиями Соглашения;
осуществление им авансового платежа;
начало использования любого Произведения;
начало пользования любыми услугами Сайта на условиях Соглашения.

1.6. Администрация сайта оставляет за собой право в любое время изменять, добавлять или удалять пункты настоящего Соглашения без уведомления Пользователя.

1.7. Продолжение использования Сайта Пользователем означает принятие Соглашения и изменений, внесенных в настоящее Соглашение.

1.8. Пользователь несет персональную ответственность за проверку настоящего Соглашения на наличие изменений в нем.

2. Термины, используемые в Соглашение

2.1. Пользователь – пользователь сети Интернет, любое физическое или юридическое лицо (представитель юридического лица), добровольно прошедшее Регистрацию и/или начавший пользоваться любыми услугами Сайта.

2.2. Произведения (Контент) – электронные версии научных изданий, включая периодические издания, а также непериодические издания, представленные в электронном виде в сети Интернет в различных форматах, размещенные на Сайте «Электронной библиотечной системы», доступные Пользователям посредством Сайта «Электронной библиотечной системы».

2.3. Каталог – совокупность Произведений.

2.4. Логин и Пароль – два уникальных набора символов, идентифицирующих Пользователя.

2.5. Сайт «Электронная библиотечная система» – информационный ресурс в сети Интернет, принадлежащий ФГУП «Издательство «Наука», расположенный на домене www.libnauka.ru.

2.6. Администрация Сайта – уполномоченные на управление Сайтом сотрудники, действующие от имени ФГУП «Издательство «Наука»

2.7. Скачивание – запись Пользователем Произведений в память ЭВМ.

2.8. Биллинг – система учета платежей.

2.9. Учетная запись Пользователя – Аутентификационные и личные данные Пользователя, хранящиеся на серверах Сайта «Электронной библиотечной системы». Учетная запись создается в результате прохождения Пользователем процедуры регистрации и может потребоваться для того, чтобы воспользоваться некоторыми возможностями или отдельными функциями Сайта.

3. Предмет Соглашения

3.1. «Электронная библиотечная система» предоставляет возможность Пользователю на платной основе осуществлять просмотр, чтение и скачивание Произведений, представленных в Каталоге.

3.2. Пользователем может быть оформлена и оплачена предварительная годовая (неполная годовая) подписка на возможность просмотра, чтения и скачивания электронных версий Произведений, а также предварительная подписка на возможность получения коллекции Произведений, не размещенных в Каталоге в момент оформления и оплаты.

4. Обязанности сторон

4.1. Обязанности «Администрации сайта»:

4.1.1. Предоставлять Пользователю возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения на Сайте не позднее 24 часов с момента подтверждения Биллингом произведенной оплаты и идентификации Пользователя как плательщика произведенного платежа. В случае оформления и оплаты Пользователем предварительной подписки в соответствии с п.3.2. Соглашения, предоставлять Пользователю возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения не позднее 24 часов с момента их размещения в Каталоге при условии подтверждения Биллингом произведенной ранее оплаты и идентификации Пользователя как плательщика произведенного платежа.

4.1.2. Не разглашать третьим лицам Логин и Пароль, адрес электронной почты Пользователя, а также прочие сведения, полученные от Пользователя при регистрации.

4.1.3. Уведомлять Пользователя об изменениях условий Соглашения и его Приложений путем размещения соответствующей информации на Сайте «Электронной библиотечной системы» не менее чем за 30 (тридцать) календарных дней до вступления изменений в силу.

4.2. Обязанности Пользователя:

4.2.1. Зарегистрироваться на Сайте «Электронной библиотечной системы». Установить Логин и Пароль, уникальность которых подтверждается «Администрацией сайта». При этом строго и неукоснительно следовать указаниям Администрации сайта о порядке регистрации, размещенном на Сайте «Электронной библиотечной системы».

4.2.2. Производить оплату получения возможности просмотра, чтения и скачивания Произведений согласно п.4 Соглашения.

4.2.3. Обеспечивать конфиденциальность Логина и Пароля, сообщенного при регистрации.

4.2.4. Использовать скачанные Произведения исключительно в личных целях. При этом Пользователю предоставляются следующие права на использование Произведений:

осуществлять дистанционный доступ в сети Интернет посредством Сайта «Электронной библиотечной системы» к Произведениям, под которым понимается возможность поиска, просмотра, скачивания и чтения Произведений.
распечатывать отдельные части Произведений только в архивных целях.
осуществлять запись и хранение отдельных частей Произведений в память ЭВМ, принадлежащего Пользователю в архивных, учебных и исследовательских целях;
цитировать в оригинале и в переводе в научных, исследовательских, полемических, критических, информационных и учебных целях, отрывки Произведений в объеме, оправданном целью цитирования,
воспроизводить в газетах, передавать в эфир или сообщать по кабелю для всеобщего сведения отдельные части Произведений в объеме, оправданном информационной целью.
использование Произведений (их составных частей) по настоящему Соглашению осуществляется с обязательным указанием имени авторов (соавторов) Произведений (их составных частей), наименования правообладателя Произведений, указанных в Произведении.

4.2.5. Пользователь не имеет право:

передавать либо рассылать скачанные Произведения третьим лицам как полностью, так и частично, за исключением случаев, предусмотренных п.4.2.4. Соглашения;
сообщать публично Произведения полностью, по известным каналам вещания, таким как радио, телевидение и прочее, за исключением случаев, предусмотренных п.4.2.4. Соглашения;
воспроизводить Произведения, то есть изготавливать экземпляры Произведений или их частей в любой материальной форме если это воспроизведение имеет цель дальнейшего распространения;
доводить Произведения до всеобщего сведения с использованием сети Интернет и прочих цифровых сетей как полностью, так и частично;
изменять или прочим образом перерабатывать тексты Произведений.
распечатывать целиком Произведение, представляющее собой выпуск журнала, журнал или книгу;
размещать ссылки на Произведения, доступные для использования Пользователем, на каких-либо ресурсах таким образом, чтобы третье лицо имело доступ к данным Произведениям. В том числе Пользователю запрещается сообщать третьим лицам сведения, необходимые для получения доступа на персональные страницы Сайта, требующие авторизации Пользователя.
использовать иные программные средства для автоматического поиска и загрузки, кроме тех, которые реализованы на Сайте «Электронной библиотечной системы»
Несоблюдение Пользователем требований п.4.2.5. Соглашения является нарушением законодательства об авторском праве и влечет за собой последствия, указанные в п. 10.1 и п. 10.2 Соглашения.

4.2.6. Вся информация, размещенная на Сайте «Электронной библиотечной системы» о порядке пользования Каталогом, порядке оплаты и прочих особенностях исполнения Соглашения является неотъемлемой частью Соглашения и обязательна к исполнению Пользователем.

5. Условия оплаты

5.1. Пользователь производит авансовый платеж в рублях РФ на условиях, указанных на Сайте «Электронной библиотечной системы».

5.2. Способы оплаты указаны на Сайте в разделе Способы оплаты. Согласованным способом оплаты считается способ, выбранный Пользователем из доступных способов оплаты на Сайте «Электронной библиотечной системы».

5.3. Порядок оплаты с помощью банковских карт указан на Сайте в разделе Способы оплаты. Операции с использованием банковских карт могут совершаются исключительно держателем карты. Авторизация операций по банковским картам осуществляется банком. Прием и обработка платежей с использованием банковских карт проводится провайдером электронных платежей Яндекс.Касса, либо иным провайдером электронных платежей. «Администрация сайта» не осуществляет обработку, в том числе сбор и хранение данных банковских карт Пользователей.

5.4. Цена предоставления возможности Пользователю – физическому лицу осуществлять просмотр, чтение и скачивание Произведений указана на Сайте «Электронной библиотечной системы» в соответствующих разделах. Пользователям, являющимся юридическими лицами, цены направляются «Администрацией сайта» по запросу по согласованным каналам связи. «Администрация сайта» вправе в одностороннем порядке изменять действующие цены путем размещения соответствующей информации на Сайте «Электронной библиотечной системы» либо информирования Пользователей иным доступным способом. Любое изменение цен не касается уже оплаченного доступа.

6. Ответственность сторон. Ограничение ответственности «Электронной библиотечной системы».

6.1. Пользователь принимает на себя полную ответственность и риски, связанные с использованием Каталога.

6.2. Пользователь полностью несет ответственность за использование третьими лицами Логина и Пароля.

6.3. Пользователь полностью несет ответственность за использование третьими лицами информации, передаваемой «Администрацией сайта» на адрес электронной почты, указанный Пользователем при регистрации.

6.4. «Администрация сайта» не несет ответственности за любые расходы Пользователя или прямой либо косвенный ущерб, который может быть нанесен Пользователю вследствие использования Каталога.

6.5. «Администрация сайта» не несёт ответственности за качество доступа к Каталогу через сеть Интернет.

6.6. Ни при каких обстоятельствах «Администрация сайта» не несет ответственности за использование третьими лицами Логина и Пароля.

6.7. «Администрация сайта» не несет ответственности за прямой или косвенный ущерб, понесенный Пользователем в результате ошибок передачи данных, сбоев/дефектов в работе программного обеспечения и/или оборудования, потерь и повреждений данных, ошибок обработки или отображения данных, задержек в передаче данных и других сбоев, случившихся не по вине «Администрации сайта».

6.8. Сайт «Электронной библиотечной системы» и все сопутствующие сервисы предоставляются на условиях «как есть», без каких-либо прямых или косвенных гарантий того, что указанные Сайт и (или) сервисы могут подходить или не подходить для конкретных целей использования.

6.9. «Администрация сайта» не несет ответственности за невозможность пользования Сайтом, и (или) сопутствующими сервисами Пользователем по каким-либо причинам, включая, но не ограничиваясь: ошибки, упущения, прерывания, удаление, дефекты, задержку в обработке или передаче данных, нарушение работы линий связи, неисправность оборудования, любые технические сбои или иные проблемы любых телефонных сетей или служб, компьютерных систем, серверов или провайдеров, компьютерного или телефонного оборудования, программного обеспечения, невыполнение обязательств поставщиков тех или иных услуг, кражу, уничтожение или неправомерный доступ к материалам Пользователей, размещенным на Сайте или в любом другом месте и т.п.

6.10. Ни при каких обстоятельствах «Администрация сайта» не несет ответственности за любые расходы Пользователя или прямой либо косвенный ущерб, включая упущенную выгоду или потерянные данные, вред чести, достоинству или деловой репутации, который может быть нанесен Пользователю вследствие использования Сайта и (или) сопутствующих сервисов.

6.11. В случае невозможности для «Электронной библиотечной системы» предоставить Пользователю возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения по независящим от «Администрации сайта» причинам, «Администрация сайта» по требованию Пользователя осуществляет возврат полученного авансового платежа. При этом размер ответственности «Администрации сайта» ограничивается размером полученного от Пользователя авансового платежа за возможность просмотра, чтения и скачивания Произведения, которая не была предоставлена.

7. Срок действия Соглашения

7.1. Соглашение вступает в силу с момента принятия Пользователем условий Соглашения (каждое Приложение к Соглашению вступает в силу с момента принятия Пользователем условий этого Приложения) и действует до полного исполнения Сторонами своих обязательств.

8. Обстоятельства непреодолимой силы

8.1. Стороны освобождаются от ответственности за частичное или полное неисполнение обязательств по настоящему Соглашение в случае, если такое неисполнение явилось прямым следствием обстоятельств непреодолимой силы (форс-мажорных обстоятельств), возникших после заключения Соглашение, в результате событий чрезвычайного характера, а именно: пожара, наводнения, урагана и землетрясения или наложения органами государственной власти ограничений на деятельность любой из Сторон, и если эти обстоятельства Стороны не могли ни предвидеть, ни предотвратить разумными мерами.

9. Прочие условия

9.1. В случае, если какое-либо положение или какая-либо часть Соглашения признаны недействительными или не имеющими юридической силы, остальные положения и части Соглашения остаются в полной силе и действии.

9.2. Во всем остальном Стороны Соглашения согласились руководствоваться действующим законодательством Российской Федерации.

9.3. «Администрация сайта» вправе вносить изменения в Соглашение с обязательным размещением соответствующей информации на Сайте «Электронной библиотечной системы» не позднее, чем за 30 (тридцать) календарных дней до вступления соответствующих изменений в силу.

9.4. Отношения «Администрации сайта» и Пользователя, являющиеся юридическими лицами, регулируются на основании отдельно заключаемых Договоров, в которых указываются конкретные условия взаимоотношения Сторон.

9.5. По всем возникающим вопросам Пользователь вправе обращаться в Службу поддержки Сайта по адресу электронной почты: info@libnauka.ru

10. Разрешение споров

10.1. Споры и разногласия, которые могут возникнуть по данному Соглашению, решаются путем соблюдения досудебного (претензионного) порядка. Срок рассмотрения «Администрацией сайта» претензии – 10 (Десять) календарных дней с момента ее получения от Пользователя.

10.2. Если Стороны не придут к соглашению, эти споры и разногласия разрешаются в судебном порядке согласно действующему законодательству Российской Федерации в суде по месту нахождения ФГУП «Издательство «Наука» в соответствии с правилами подведомственности и подсудности.

11. Уведомление о конфиденциальности

11.1. Согласие Пользователя на предоставление персональной информации, определяется согласием с настоящей публичной офертой, происходящей автоматически при прохождении Пользователем процедуры регистрации на Сайте.

11.2. В соответствии с Федеральным Законом «О персональных данных» № 152-ФЗ от 27 июля 2006 г. и настоящей политикой конфиденциальности Администрация Сайта не использует, не обрабатывает и не хранит персональные данные Пользователя.

11.3. «Администрация сайта» собирает и хранит только необходимые для функционирования Сайта данные Пользователя. «Администрация сайта» может использовать данные Пользователя для его идентификации, уточнения данных платежа, предоставления персонализированных сервисов, обратной связи с Пользователем, обработки заявок и запросов, выполнения обезличенных статистических вычислений и улучшения качества услуг, оказываемых Пользователю.

Статья «LOW-TEMPERATURE RADICAL ISSG OXIDATION OF SILICON, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Выбор типа подписчика

Юридическое лицо

Физическое лицо

ДОГОВОР - ПУБЛИЧНАЯ ОФЕРТА

ПОЛЬЗОВАТЕЛЬСКОЕ СОГЛАШЕНИЕ