Статья «Обработка пространственно-временного сигнала акустического микроскопа для определения параметров изотропного слоя, "Акустический журнал"»

Разработан метод измерения толщины, скоростей объемных волн и плотности изотропного слоя с помощью импульсного сканирующего акустического микроскопа. Метод основан на регистрации сигнала микроскопа в зависимости от величины смещения ультразвукового фокусирующего преобразователя вдоль его оси перпендикулярно поверхности образца и разложении записанного двумерного пространственно-временного сигнала в спектр плоских импульсных волн. Скорости продольной и поперечной волн и толщина слоя рассчитываются по относительным задержкам составляющих спектра плоских волн, отраженных от поверхностей слоя, а плотность ? по амплитудам этих составляющих. Экспериментальное исследование тестового образца в виде стеклянной пластинки, выполненное в 50-мегагерцовом диапазоне, показывает, что погрешность измерения толщины и скоростей объемных волн не превышает 1%, плотности – 10%.